美國MASSVAC 355051型過濾器可以保護泵免受腐蝕性化學(xué)品和磨料顆粒存在于您的真空系統(tǒng)。它的特點是有一個三級的污水收集系統(tǒng):第一級在大面積的表面上撞擊重顆粒,凝結(jié)揮發(fā)性固體和液體;第二級和第三級含有兩個平行的過濾元件,可以定制來去除腐蝕性化學(xué)品和微粒。水或制冷劑冷卻的配件,使第一階段更有效的凝結(jié)。

保護油封真空泵和干真空泵

清除可能破壞真空泵的腐蝕性和磨料

諸如   Pecvd,  角 ,  莫卡德夫,  金屬蝕刻 和  HVPE。

模塊化設(shè)計使設(shè)備易于拆卸和清潔

元素替換是快速和容易的

提供水或制冷劑冷卻選擇

   美國MASSVAC 355051型過濾器可配置為許多不同的裝置,從重顆粒應(yīng)用到那些產(chǎn)生可凝結(jié)或有機蒸氣。

第一階段撞擊重顆粒和一些壓縮物

冷卻線圈去除更多的壓縮物,降低氣體溫度

第2階段墨盒元件使第一次過濾通過

第3階段元素去除更細(xì)的微粒

煤氣出口

現(xiàn)在提供了一個新的配置,其特點是單一的高容量、高效率的微粒過濾器,用于產(chǎn)生大量微粒的過程。這個大的過濾器,13"高x14"直徑,是由高溫褶皺聚酯材料,提供40平方英尺。金融時報每平方米顆粒保留量60克的面積。金融時報這些過濾器可以獲得25微米和100微米的評級,提供99%的粒子效率評級。這種大面積的表面積和顆粒保留率的結(jié)合,使其非常適合用于保護用于LPCVD、PECVD和ALD的半導(dǎo)體晶圓結(jié)構(gòu)的真空泵。

該多拉桿直徑為16",電導(dǎo)等級大于2000CFM@1托爾,全304不銹鋼結(jié)構(gòu),具有ISO-160端口,以直角和直通式配置。現(xiàn)有裝置也有可選的冷卻配件、濾罩和改裝工具包。可添加陷阱堆疊模塊,以大大增加容量。

東莞市廣聯(lián)自動化科技有限公司專業(yè)供應(yīng)進口電磁閥、氣缸、泵、傳感器、繼電器、開關(guān)、離合器、過濾器、濾芯、流量計、液位計、編碼器、伺服閥等產(chǎn)品。德國美國有公司，廠家一手貨源，詳請致電。